В России разработали "дорожную карту" по созданию литографа, который должен обойтись дешевле аналога от ASML – нидерландской компании, считающейся мировым лидером в этой сфере. Институт физики микроструктур Российской академии наук предлагает уменьшить рабочую длины волны с 13,5 до 11,2 нм, что снизит затраты на изготовление вакуумных элементов и систем, и литографа в целом, так повляет и на стоимость эксплуатации.
