В Санкт-Петербурге разработали безмасочный нанолитограф: он в два раза дешевле обычного литографа

Команда учёных из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СпбПУ) сообщила о разработке промышленного образца установки безмасочной нанолитографии. Как пояснили авторы проекта, их детище позволит «решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники».

Установка позволяет получать изображения на подложке без использования маски. Такой метод намного проще и дешевле, нежели традиционный литограф. Российская разработка оценивается в 5 млрд рублей, в то время как её иностранный аналог — в 10–13 млрд. В университете не только спроектировали и создали нанолитограф, но также разработали специальное программное обеспечение и автоматизировали все рабочие процессы.

Помимо нанолитографа, специалисты СпбПУ представили установку плазмохимического травления кремния, предназначенную для создания кремниевых мембран. В последствии такие датчики могут быть использованы, например, в судовых датчиках избыточного давления. Разработчики заявили, что изготавливаемая отечественной установкой продукция превосходит по надёжности и чувствительности те мембраны, которые производятся путём лазерного и жидкостного травления.

«Применение безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. Например, в радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, даёт возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД», – рассказал научный руководитель Артем Осипов.