Обе машины относятся к категории литографических установок глубокого ультрафиолета (DUV) и используют лазеры на фториде аргона. Первая работает на длине волны 193 нм, обеспечивая разрешение ниже 65 нм и точность наложения слоев менее 8 нм. Вторая — на длине волны 248 нм, с разрешением 110 нм и точностью наложения 25 нм.
Лучшим китайским литографическим станком считается SSX600 от Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE). Он может производить чипы по 90-нм технологическому процессу. Таким образом, одна из новых DUV-машин лучше SSX600, а другая хуже. Однако обе значительно уступают NXT:1980Fi от ASML и NSR-S636E от Nikon. Наименее продвинутая DUV-машина ASML имеет разрешение ниже 38 нм и точность наложения всего 1,3 нм. Лучший инструмент Nikon также имеет разрешение 38 нм и точность наложения 2,1 нм.
Новые системы еще не готовы к коммерческой эксплуатации. Министерство промышленности и информационных технологий Китая не назвало конкретных компаний-разработчиков.
Китай давно стремится к технологическому суверенитету, особенно в области критически важных полупроводниковых технологий, но он все еще сильно зависит от оборудования ASML. ASML необходимо получить экспортную лицензию от правительства Нидерландов, чтобы продавать свои передовые DUV-машины. По сути, это означает, что китайские компании не могут получить эти машины. Напряженность в торговых отношениях между США и Китаем привела к введению различных ограничений на экспорт технологий в Китай. США активно https://hightech.plus/2024/09/06/ssha-ogranichat-eksport-kva... своих союзников присоединяться к этим ограничениям.
Государственная компания SMEE рассматривается как основной претендент на создание отечественных литографических систем. Однако SMEE тоже отстает от ASML и других мировых лидеров в этой области. В прошлом году компания продемонстрировала литограф, способный производить чипы по 28-нм технологическому процессу, но массовое производство этого оборудования еще не налажено.
В марте 2023 года SMEE подала патент на технологию EUV-литографии. Это свидетельствует о достижении определенных успехов, даже в условиях международных санкций и торговых ограничений.
