Бывший технический директор ASML Мартин ван ден Бринк (Martin van den Brink) пояснил, что в неопределённом будущем компания не только собирается представить оборудование со сверхвысоким значением числовой апертуры 0,75, но и увеличить производительность литографических сканеров поколений EUV и DUV. За счёт этого себестоимость продукции удаётся удержать в разумных рамках. Источник изображения: ASML
