Пока мировые гиганты соревнуются в гонке за 1,4 и 2 нанометра, российская микроэлектроника решает более приземленную, но не менее важную задачу — создание собственного оборудования для производства микросхем. Два научно-исследовательских института, входящих в группу компаний «Элемент», приступили к разработке первой в России восьмимодульной кластерной установки для магнетронного напыления. Оборудование предназначено для выпуска микросхем по техпроцессам 180–90 нм на 200-миллиметровых пластинах.
