Соответствующие контракты опубликованы на портале госзакупок (
первый,
второй,
третий,
четвертый). ОКР связаны с созданием технологий и установок для выпуска микросхем с топологией в диапазоне 250–65 нанометров.
Зеленоградскому инновационно-технологическому центру предстоит разработать и изготовить опытные образцы установок лазерного устранения дефектов и контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах для производства интегральных схем с топологическими нормами 90–65 нм. Опытно-конструкторские работы, как следует из тендерных документов, должны быть выполнены до конца 2026 года. Их стоимость составит 2,57 млрд рублей.
МИЭТ, в свою очередь, до конца 2025 года должен разработать технологию проектирования широкой номенклатуры сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем, изготавливаемых на основе гетероэпитаксиальных структур нитрида галлия на подложках кремния с проектными нормами до 250 нм, а также технологию корпусирования высокопроизводительных микросхем в многовыводные полимерные корпуса для кристаллов с количеством контактных площадок до 8 000 штук. За эти ОКР зеленоградскому университету, согласно заключенным контрактам, заплатят более 4,5 млрд рублей.
Как
отмечает профильное издание CNews, по современным меркам топологический диапазон 250–65 нм – это «прошлый век», однако произведенная по таким нормам продукция все равно остается «очень востребованной».
Напомним, в 2021 году миллиардные контракты Минпромторга получили два других зеленоградских предприятия – Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ).
