EUV-оборудование ASML нашло применение в биомедицине
Исследовательский центр IMEC показал, что оборудование ASML для EUV-литографии, применяемое в производстве микросхем, может использоваться и в биомедицине. С помощью экстремального ультрафиолета удалось наладить изготовление нанопор сразу на уровне целой кремниевой пластины.
Нанопоры представляют собой отверстия диаметром всего несколько нанометров. В демонстрационном проекте IMEC были получены равномерные структуры размером около 10 нм на пластинах диаметром 300 мм. Такие размеры примерно в 10 000 раз меньше толщины человеческого волоса.
Подобные нанопоры применяются в молекулярных сенсорах. Через них пропускается ионный ток, а проходящие молекулы изменяют его параметры. По этим изменениям можно определить размер, заряд и структуру отдельных молекул, включая ДНК, белки и вирусы.
В IMEC отмечают, что существующие методы производства нанопор медленные и дорогие. Использование EUV-литографии позволяет добиться масштабируемости, точности и воспроизводимости, хотя само оборудование остается дорогим и востребованным в полупроводниковой отрасли.