В России разработан план создания оборудования для создания современных чипов, которое будет дешевле и эффективнее, чем установки сегодняшнего монополиста рынка ASML. Авторы проекта считают, что нашей стране нецелесообразно идти путем нидерландской компании, так как это слишком затратно. Поэтому Россия будет создавать установки не с длиной волны 13,5, а 11,2 нанометров.