На заседании Научного совета ОНИТ РАН представители научного сообщества и промышленности обсудили современное состояние литографии и планы по созданию отечественной технологической цепочки для производства чипов. Генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев рассказал о разработке линии фотолитографического оборудования 350-90 нм и заключенных контрактах на поставку степперов.
